碳化硅作為磨料在研磨精密工件時，工件不能強制運動或呈被卡死狀態(tài)，需要在幅板中使工件時刻以下研具的平面定位。

工件在精研磨時，需要內(nèi)部組織完全穩(wěn)定才能保持尺寸的準(zhǔn)確性。為了保證精密工件的尺寸穩(wěn)定性，機(jī)械加工后應(yīng)做時效處理，淬火后應(yīng)即行冰冷處理（采用干冰，溫度控制在-78℃一下），來消除內(nèi)應(yīng)力。因為淬火后，材料中一般存在10-20%的殘余奧氏體，在常溫下，他會轉(zhuǎn)變成馬氏體，這便引起工件尺寸的微量變化，因此，必須盡可能地將殘余奧氏體進(jìn)行分解。分解的最好方法是淬火后立即進(jìn)行冰冷處理。

研磨完的精密工件，要經(jīng)過一段時間的等溫“處理”后才能進(jìn)行檢驗。這是因為工件在研磨中產(chǎn)生溫升引起了尺寸變化的緣故。當(dāng)使用基準(zhǔn)塊進(jìn)行相對比較測量時，為了保證測量準(zhǔn)確，常將基準(zhǔn)塊被測工件放在一起等溫。

為了防止研磨各工序間因轉(zhuǎn)序周期過長而造成腐蝕，通常把工件的加工表面，浸放在5-10%亞硝酸鈉水溶液中。特別是在氣溫高、冷卻液失效的情況下更應(yīng)注意這一點。產(chǎn)效率低而且加工不方便。但對于不適于機(jī)械研磨的如細(xì)長的工件、角度平面、凹面及圓弧曲面等等，仍然是只有手工研磨才能達(dá)到要求。